IR-300 型
蒸汽浓度监测仪
金属有机化学气相沉积 （MOCVD） 工艺广泛用于制造 LED、光学器件和其他组件。通过控制温度、压力和载气流速（鼓泡方法），液体和固体前驱体被输送到反应室。在线 IR-300 系列可实时测量和报告前驱体浓度，为用户提供以下优势：
- 优化过程控制以生产更多高档设备
- 提高设备产量并减少废品
- 提高重现性
- 了解何时需要更换起泡器
- 扩展 MTTA
- 减少计划外干预
- 减少有价值的前驱体浪费
- 实时监测
快速响应和出色的可重复性允许实时跟踪蒸汽浓度的变化 - 多重校准曲线功能（可选）
允许测量多达 3 种化学品或范围的浓度 - 多显示功能
IR-300 装置顶部的多显示功能为用户提供了浓度监测和前驱体供应管线状态的现场检查功能 - 通信功能
通过 DeviceNet™、RS485 和模拟通信进行连接 - 简单、紧凑的设计
该装置的面对面尺寸为 124 mm，其紧凑且无安装方向的设计使其易于集成
高光强度和长寿命光源与高速信号处理相结合，使 IR-300 系列能够对母离子浓度的变化实现更快、更可重复的响应。这些功能通过实时在线浓度测量使用户能够真正了解实际过程。
MOCVD 前驱体的测量示例
■实验流程图
■前驱体浓度变化的监测
下面是一个示例，其中实时监测所提供前驱体的浓度（由于背压调节器调整起泡器中的压力而发生变化）。
测量技术
可靠、高性能
的非色散红外吸收测定法 （NDIR）
IR-300 系列采用的红外吸收测定法采用测量气体分子在红外光源发出的红外光中的吸收的原理。将吸收了被测气体的样品输出与无吸光度的参考输出进行比较，并将结果转换为气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期、稳定的测量结果。
光学系统由光源、气体室和双光束探测器组成。双光束探测器的稳定性已经经过 40 多年的验证。
