GR-511F 系列
晶圆背面冷却系统
GR-511F 可以控制用于冷却由静电吸盘系统固定到位的晶圆背面的气体。
GR-511F 的稳定性和准确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。
- 压力控制更稳定、更准确
- 质量流量传感器 （可选）
- 适用于各种配件
- 符合 RoHS 标准
应用示例
在下面的示例中，GR-511F 控制用于冷却由静电吸盘系统固定到位的晶圆背面的气体。
控制器 HORIBA HORIBA 压力控制 GR-511F 系列 晶圆背面冷却系统
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- 品牌名称：HORIBA
- 商品型号：GR-511F
- 订货编码：MHORIBA05162505-1748587473
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