EC-5000 系列

排气压力控制器

EC-5000 系列排气压力控制器可以在腔室内保持一致的压力，由用户选择。高分辨率步进电机和独特的蝶阀确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

• 适用于高真空：不锈钢机身
• 耐腐蚀：还提供带 PTFE 主体的型号
• 符合 RoHS 标准。

当排气流量调整到最佳水平时：

• 光刻胶分布在均匀的薄膜中
• 防止油雾的二次沉积
• 防止危险蒸气的扩散。

与流量传感器控制相比，由于光刻胶和其他污染的积累引起的灵敏度变化较小，并且消除了湍流和其他噪声的影响，从而实现了卓越、稳定、响应性的控制。