SEC-E 系列

质量流量控制器

这款通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可让您实现对气体流量的高级控制。质量流量控制器 sec-e 系列是一种多功能元件，可用于广泛的行业。

通过质量流量控制器的气体流量可以在一系列流量内进行控制：从 10 SCCM 到 200 SLM。

• 配备可靠的热传感器和电磁阀
• 流量控制范围广：从 10 SCCM 到 200 SLM （N2）
• 适用于广泛的应用
• 集成到各种制造系统中，包括：LCD、光伏电池、功率半导体、涂层
  • 一般工业：燃烧器气体控制、大气气体控制、混合气体的产生、通风量的测量
  • 研发：各种气体传感器和燃烧器的性能评估设备;生物技术相关评估
  • 实验室：用于各种实验的气体流量控制器、采样气体等。