SEC-Z500X 系列

多量程/多气体数字质量流量控制器

这是 HORIBA 最畅销的数字质量流量控制器型号。它具有多量程/多气体功能，使用户能够在现场快速轻松地更改气体类型或满量程流量。
该质量流量控制器具有高精度 +/- 1.0% S.P、压电执行器阀、高速响应和全金属，适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信均可用。

• 高精度 ±1.0% S.P.
  该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并在所有流量控制范围内实现高精度。为了提高实际气体精度，各种工艺气体的校准数据由 HORIBA STEC 的标准气体测量系统测量。
• 高速响应
  安装“可变 PID 系统”，可实现任意两个设定点之间的 1 秒响应。可变 PID 根据流点设置不断变化。这允许在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 因子。
• 多气体/多量程解决方案
  配置软件可以快速轻松地更改规格。一个关键功能是可以在不从燃气面板或管道上拆下质量流量控制器的情况下进行更改。这减少了所需的备用质量流量控制器的数量;节省时间和成本。

质量流量控制器 SEC-Z500X 适用于各种应用以及半导体制造。