SEC-Z700X 系列

压力不敏感质量流量控制器

SEC-Z700X 系列配备了可靠的热传感器和压力不敏感功能，可实现稳定的流量控制。机载压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

压敏
新的高性能功能提供了简化的供气系统。典型的多室气体管路具有管路调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。SEC-Z700X 系列具有高稳定性，可在不影响上游和下游压力波动的情况下控制气体流量。提供流量输出、温度和压力读数。

• 多气体/多量程功能
  气体类型和满量程流量可由客户更改
• 可变 PID 功能可在整个流量范围内提供高速响应（1 秒内）
• 紧凑的气体管路
  无需调节器、传感器和过滤器
• 稳定控制气体流量，不受上游和下游压力波动的影响
• 集成入口压力传感器
• 板载多显示器
• 保修 1% 设定点高精度
• 超洁净设计 - 金属隔膜，全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理（标准）。
• 尺寸紧凑
  接头尺寸相同，最大 50 SLM
• 信号兼容性
  模拟/RS485 数字型号 ， DeviceNet™ 型号
• 网络功能
  由数字信号控制。