标准 D500

压力不敏感质量流量模块

这种领先的压力不敏感质量流量模块安装了差压检测和压电执行器阀。

CRITERION D500 提供的高性能确保其可用于一系列先进的半导体制造工艺;压力不敏感、多量程/多气体/多压力、G-LIFE（综合限流器方程的气体定律检查）自诊断功能、高精度、快速响应、量程宽、全金属。

• 压力不敏感性能
  新的高性能压力不敏感功能提供了简化的供气系统
• 多量程、多气体、多压力解决方案
  新功能允许用户更改气体类型、满量程流量和供气压力范围
• G-LIFE（集成限流器方程的气体定律检查）自诊断功能
  先进的过程健康监测功能允许作员进行自己的测试，通常在 3 秒或更短的时间内，以提高吞吐量
• 高精度
  通过先进的三维调整提高了工艺气体的流量精度
• 快速响应
  响应：< 0.8 秒
  可实现准确、稳定的流量控制
• 动态范围
  宽控制范围：0.2% F.S. 至 100% F.S.