D700uF

微流量压力不敏感质量流量模块

D700uF（Micro Flow） 专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。
≤ 5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中一直非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

• 低至 0.025SCCM 的流量控制能力
  • 精确的调谐气体控制，增强工艺可调性
• ≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
  • 提供高生产率和更好的过程性能
• 内部流量计量
  • 所有制造产品的性能可靠
• 状态监控功能
  • 提供更多内部数据，实现更智能的故障预测
• PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性
  • 坚固耐用，颗粒风险更低，减少停机时间并优化产量