D700T 系列

最佳性能压敏质量流量模块

D700T 是专为关键半导体制造工艺设计的最佳性能压力不敏感质量流量模块。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 基于压力的流量测量和控制技术，以提供行业领先的可重复和准确的性能。此外，D700T 的独特之处在于利用了具有双阀结构的专利高级流量控制算法，使客户的气体输送系统能够解决多种挑战。

• ≤ 100 毫秒的全面快速建立时间（设置为 Set、Step up 和 Step down）
• 入口和出口压力不敏感的性能
• 先进的故障检测功能，用于诊断压力传感器偏移、阀座泄漏和流量精度变化
• 重复性在 0.15 %S.P. 以内
• 最佳精度规格在 0.45 %S.P.* 以内（标准：0.8 %S.P.）
• 更宽的工作温度范围 （15-60 °C）