DZ-100型

超薄质量流量模块

DZ-100 继承了与 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION™ 技术，即用于层流粘性流范围的差压检测系统。这项创新技术可以高精度地控制各种气体的质量流量。与 D500 一样，用户可配置的 DZ-100 支持多量程和多气体应用。MFC 的紧凑设计减少了内部气体流路的内部体积，优化的控制算法提高了响应特性。它使用具有高处理能力的紧凑型 CPU，压电驱动电路和控制 CPU 安装在 MFC 模块中，而电源组件则安装在单独的小型控制箱中。通过将 MFC 模块与专用的微型连接器连接，可以控制多达四个 MFC 模块。

• 快速响应（≦0.4 秒）

• 重量轻、紧凑（宽：10mm、高：99mm）

• 扩大工作供气压力范围