阀门 V-TEX V-TEX 真空阀 摆式阀

价格 : 面议

  • 品牌 : V-TEX
  • 商品型号 : 摆式阀
  • 订货编码 : MV2505-1748592264 发货日 : 6周
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摆式阀 面议

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IPV、3PV、APC 型(通用)

  • 一个作确保运行。
  • 这是一种紧凑且节省空间的设计,因为它的元件数量简单且数量最少。
  • 它的设计经久耐用且免维护,可进行高达 500,000 次 FullClose/FullOpen作 (200,000 APC)。
  • O 形圈是标准阀门密封件。有助于降低成本。
  • 可以通过卸下一个螺栓来拆卸阀体。

APC 型特征

我们的独家控制器提供完整的性能。

  • 专用控制器配备了通道功能,用于计算腔室容积的最佳参数。
  • 通过高速控制,可实现精确的压力控制和位置控制。
  • 最多可连接两个压力传感器。
  • 可实现零电导控制。

主要常用规格(标准)

 IPV3光伏APC公司
对应孔径160〜500 安培160〜500 安培160〜350 安培
He 泄漏量(在 FKM 密封材料的情况下)阀体:1.3×10-{回旋过 ()}10[Pa·m{回旋过 ()}3/s]外部(本体):4.0×10-{回旋过 ()}10[Pa·m{回旋过 ()}3/s]阀体:1.3×10-{回旋过 ()}10[Pa·m{回旋过 ()}3/s]外部(本体):4.0×10-{回旋过 ()}10[Pa·m{回旋过 ()}3/s]阀体:1.3×10-{回旋过 ()}10[Pa·m{回旋过 ()}3/s]外部(本体):4.0×10-{回旋过 ()}10[Pa·m{回旋过 ()}3/s]
工作温度90°C(驱动:60°C)90°C(驱动:60°C)90°C(驱动:60°C)
工作压力0.5MPa0.5MPa-
保修期12 个月12 个月12 个月
阀门寿命开/关:500,000 次

※ 400A:150,000 次

※ 500 A:100,000 次

(可选 300,000 次)
开/关:500,000 次

※ 400A:150,000 次

※ 500 A:100,000 次

(可选 300,000 次)
开/关:500,000 次

※ 400A:150,000 次

※ 500 A:100,000 次

(可选 300,000 次)

摆式阀的使用实例

作为真空室和排气泵之间的排气系统阀安装。

IPV:用于负载锁室和传输室
3PV:用于工艺室以保持恒定的电导率
APC:用于保持恒定的波动压力。

Penduroll 阀使用示例


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