IR-400

用于腔室清洁终点监测的高级型气体监测仪

IR-400 可在沉积过程中实时监控腔室清洁终点。通过优化清洁过程，IR-400 减少了清洁时间和气体使用量。清洁气体使用量的减少减少了腔室损坏，并延长了所有系统组件的使用寿命。

• 多气体监测（支持的 SiF4和 CF4） （IR-422）
• 高灵敏度
• 气室加热功能高达 180 decC
• 多显示器
• 模拟/数字通信。

使用 IR-400 进行实时终点监测的优势

• 减少腔室清洁时间
• 减少清洁气体的使用
• 可重复且可预测的清洁过程
• 腔室组件的使用寿命更长

应用示例

• 监测室排气管

测量技术

可靠、高性能
的非色散红外吸收测定法 （NDIR）

IR-300 系列采用的红外吸收测定法利用了气体分子吸收红外光源发出的红外光的原理。将吸收了被测气体的样品输出与无吸光度的参考输出进行比较，并将结果转换为气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期、稳定的测量结果。

光学系统由光源、气体室和双光束探测器组成。双光束探测器的稳定性已经经过 40 多年的验证。