控制器 HORIBA HORIBA EC-5000 系列 排气压力控制器

价格 : 面议

  • 品牌 : HORIBA
  • 商品型号 : EC-5000 系列
  • 订货编码 : MHORIBA05162505-1748587315 发货日 : 6周
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压力控制EC-5000 系列 面议

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EC-5000 系列

EC-5000 系列

排气压力控制器

EC-5000 系列排气压力控制器可以在腔室内保持一致的压力,由用户选择。高分辨率步进电机和独特的蝶阀确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

  • 适用于高真空:不锈钢机身
  • 耐腐蚀:还提供带 PTFE 主体的型号
  • 符合 RoHS 标准。

当排气流量调整到最佳水平时:

  • 光刻胶分布在均匀的薄膜中
  • 防止油雾的二次沉积
  • 防止危险蒸气的扩散。

与流量传感器控制相比,由于光刻胶和其他污染的积累引起的灵敏度变化较小,并且消除了湍流和其他噪声的影响,从而实现了卓越、稳定、响应性的控制。


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