FS-3000 型

热分流器

FS-3000 结合了 HORIBA STEC 的质量流量控制器 （MFC） 和 MuCube（主控制器）。FS-3000 通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC，实现了稳定的分光控制。

该控制算法通过控制流速比实现稳定的流速分流控制，同时使用 HORIBA STEC 独创的控制优化技术控制 FS-3000 的上游压力。此外，即使改变分流比，控制算法也能实现对流速分流的高速响应。

• 提高可扩展性、维护性能 FS-3000 支持通过高速信号处理分离多达 15 个流道。当 MFC 发生故障时，只需更换发生故障的从站即可修复 FS-3000。

• 灵活响应所需规格 FS-3000 支持多种气体，包括混合气体。此外，FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 作为用户界面。