D700 MG

高速和精密压力不敏感质量流量模块

关键的半导体制造工艺不断需要精密的气体流量控制器件，这些器件既能实现未来的创新，又能实现前沿存储器和逻辑器件从实验室到晶圆厂的过渡。HORIBA 提出了新的基于压力的 MFC D700MG，这是 D500MG 的上部兼容型号，以支持客户的挑战。

• 机上气体和满量程配置更改 *仅限 EtherCAT

  • 为流程优化提供灵活性

• 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制

  • 提供高生产率和更好的过程性能

• 用于小流速的 MRMG 功能 （Bin101 – Bin105）

  • 为需要小流速的工艺提供灵活性

• PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性

  • 坚固耐用，颗粒风险更低，减少停机时间并优化产量

• 状态监控器功能