控制器 HORIBA HORIBA D700uF 微流量压力不敏感质量流量模块
价格 : 面议
- 品牌 : HORIBA
- 商品型号 : D700uF
- 订货编码 : MHORIBA05162505-1748584937 发货日 : 8周
| 规格 | 价格(元) | 订购数量 |
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| D700uF | 面议 |
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- 商品介绍
- 规格参数
D700uF
微流量压力不敏感质量流量模块
D700uF（Micro Flow） 专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。
≤ 5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中一直非常关键。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
- 低至 0.025SCCM 的流量控制能力
- 精确的调谐气体控制，增强工艺可调性
- ≤ 100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
- 提供高生产率和更好的过程性能
- 内部流量计量
- 所有制造产品的性能可靠
- 状态监控功能
- 提供更多内部数据，实现更智能的故障预测
- PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性
- 坚固耐用，颗粒风险更低，减少停机时间并优化产量
