D700WR 系列

宽范围压不敏感质量流量模块

D700WR 安装了一个新的限流器，专为大范围控制应用而设计，具有基于 CRITERION™ 技术的高精度性能。D700WR 可以将流量控制在满量程的 0.1% 以下，这有助于用户优化气体输送系统的灵活性。例如，如果系统安装了多个 MFC 进行高流量和低流量控制，则用户可以减少 MFC 的数量，并将同一位置的另一个 MFC 用于不同的目的。

• 0.1~100%宽范围控制和低流量的高精度

  • 为流程优化提供灵活性

• ≤ 500ms 升压响应

  • 提供高生产率和更好的过程性能

• 零故障坚固的 CIP 压力传感器

  • 减少大批量生产中的停机时间和人工成本

• PFA 喷嘴的阀门关闭和抗腐蚀性提高 10 倍

  • 坚固耐用，颗粒风险更低，减少停机时间并优化产量

• 状态监控器功能

  • 提供更多内部数据，实现更智能的故障预测