控制器 HORIBA HORIBA DZ-100型 超薄质量流量模块

价格 : 面议

  • 品牌 : HORIBA
  • 商品型号 : DZ-100型
  • 订货编码 : MHORIBA05162505-1748584825 发货日 : 8周
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DZ-100型 面议

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DZ-100型

超薄质量流量模块

DZ-100 继承了与 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION™ 技术,即用于层流粘性流范围的差压检测系统。这项创新技术可以高精度地控制各种气体的质量流量。与 D500 一样,用户可配置的 DZ-100 支持多量程和多气体应用。MFC 的紧凑设计减少了内部气体流路的内部体积,优化的控制算法提高了响应特性。它使用具有高处理能力的紧凑型 CPU,压电驱动电路和控制 CPU 安装在 MFC 模块中,而电源组件则安装在单独的小型控制箱中。通过将 MFC 模块与专用的微型连接器连接,可以控制多达四个 MFC 模块。


• 快速响应(≦0.4 秒)

• 重量轻、紧凑(宽:10mm、高:99mm)

• 扩大工作供气压力范围



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